VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂儀、spin coater適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版及表面涂覆等工藝。該機(jī)腔體采用聚丙烯材質(zhì)，耐腐蝕且使用壽命長，可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿溶液的涂覆。本機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能，尤其適用于對(duì)紫外光敏感的膠體，可使涂覆后的膠體迅速固化；此外紫外燈還具有聚合作用，可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔，注液孔配有膠塞，當(dāng)腔體需要密閉的環(huán)境時(shí)應(yīng)將膠塞堵好。腔體帶有進(jìn)氣孔，可在勻膠過程中對(duì)腔體通保護(hù)氣。樣件采用真空吸附方式進(jìn)行固定，操作簡單，使樣件取放自如。配用專用定心工具可使樣件很容易放在吸盤中心位置，以減少偏心帶來的震動(dòng)，避免造成飛片。根據(jù)樣件的大小可以選擇不同規(guī)格的吸盤，吸盤更換簡單方便。本機(jī)使用精密直流無刷電機(jī)，啟動(dòng)快、速度穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

1、采用真空吸盤固定樣件，樣件固定牢固且取放簡單方便；真空吸盤大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。
2、該機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能，紫外光的強(qiáng)度可以在一定范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。
3、本機(jī)上蓋中心位置為注液孔，注液孔配有注液孔塞，當(dāng)腔體需要密閉環(huán)境時(shí)可使用該孔塞將孔密閉。
4、該機(jī)帶有保護(hù)氣接孔，可對(duì)腔體通保護(hù)氣。
5、電機(jī)部分、紫外燈光控制部分分別使用獨(dú)立的電源進(jìn)行控制。電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)采用單板機(jī)+液晶顯示屏進(jìn)行控制，數(shù)值顯示更直觀可靠；紫光燈采用抗干擾性強(qiáng)的PLC控制器進(jìn)行控制。
6、本機(jī)涂層速度為500-1000RPM，可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段,每段運(yùn)行參數(shù)可獨(dú)立設(shè)置，可使設(shè)備緩慢提升速度限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會(huì)過多浪費(fèi)，節(jié)約材料。
7、紫光燈真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。
8、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。
9、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能；機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。

產(chǎn)品名稱	VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)勻膠機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)	VTC-100PA-UV
主要參數(shù)	1、電源：AC220/110V 50/60Hz 2、電機(jī)功率： 350W/24V 3、速度范圍：500-10000rpm 4、可儲(chǔ)存1組程序，程序包含2個(gè)運(yùn)行階段，每段增減速率設(shè)置范圍： 100 rpm s—2000 rpm /s，每段時(shí)間范圍：0-600s 5、吸盤規(guī)格：φ19mm  φ60mm 6、保護(hù)氣進(jìn)氣孔規(guī)格：φ8㎜ 7、真空氣孔規(guī)格：φ8㎜ 8、紫光燈功率范圍：8-30W 9、紫光燈時(shí)間設(shè)置范圍：1-800S
產(chǎn)品規(guī)格	外形尺寸：450×280×340mm 重量：20Kg

序號(hào)	名稱	數(shù)量	圖片鏈接
1	真空吸盤（φ19 mm和φ60 mm）	2件
2	中心定位器	1個(gè)
3	無油真空泵	1臺(tái)

序號(hào)	名稱	功能類別	圖片鏈接
1	其它尺寸的真空吸盤	（可選）
2	國產(chǎn)移液槍	（可選）
3	進(jìn)口移液槍	（可選）