RF-300I-LD 300W小型自動匹配型射頻電源

簡要描述：300W小型自動匹配型射頻電源RF-300I-LD將自動匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起，可以自動匹配容抗和感抗，使得安裝和操作更加方便容易。配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀。

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2018-11-05
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產品分類CLASSIFICATION

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品牌	其他品牌	產地類別	國產

RF-300I-LD 300W小型自動匹配型射頻發生器主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀。該射頻發生器在工作時將自動匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起，可以自動匹配容抗和感抗，使得安裝和操作更加方便容易；輸入功率可根據需要自行進行調整，調整范圍在5W-300W；冷卻過程采用空氣冷卻，無需采用其它冷卻設備，節約了設計成；噪音極低，對環境幾乎無污染。該發生器配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀對樣品進行鍍膜操作。

產品型號	300W小型自動匹配型射頻電源RF-300I-LD
技術參數	1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、輸入功率：5W-300W（可調），穩定性±1% 3、射頻頻率：13.56MHz，穩定性±0.005% 4、匹配：自動匹配，空氣電容 5、冷卻：空氣冷卻 6、噪音：<50dB
產品規格	尺寸：480mm×400mm×140mm
可選配件	1、2"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時購買300W射頻發射器和2"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內徑為0.75"，可將濺射　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環水冷機，流量為16L/min，水箱容積為6L。